臺式掃描電鏡

更新時間：2021-01-11

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臺式掃描電鏡為滿足客戶的“想要不進(jìn)行樣品前處理，直接啟動設(shè)備，快速且簡單獲取目標(biāo)樣品數(shù)據(jù)“需求，TM4000系列進(jìn)行了

臺式掃描電鏡可觀察大直徑為80 mm，厚度為50 mm的樣品。設(shè)備內(nèi)置光學(xué)相機(jī) (選配)，可輕松尋找目標(biāo)樣品。

臺式掃描電鏡從裝樣到獲取圖像僅需3分鐘左右，優(yōu)化了原來的形狀觀察、元素分析到報告制作的工作流程。

僅需選擇圖像和模板即可完成Word®、Excel®、Powerpoint®格式的報告。

全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了高畫質(zhì)圖像

樣品: 水泥 5 kV UVD
樣品：水泥 5 kV UVD

環(huán)保型SEM采用無油真空系統(tǒng)，任何地方均可安裝

采用無油泵和無需做對中的預(yù)對中燈絲

項目	TM4000Plus	TM4000
放大倍率	×10~×100,000 (底片倍率) ×25~×250,000 (顯示器倍率)
加速電壓	5 kV、10 kV、15 kV
圖像信號	背散射電子二次電子合成 (背散射電子＋二次電子)	背散射電子
真空模式	導(dǎo)電體 (背散射電子) 標(biāo)準(zhǔn) 減輕荷電	標(biāo)準(zhǔn) 減輕荷電
圖像模式(背散射電子)	標(biāo)準(zhǔn)(BSE)、陰影像1、陰影像2、凹凸形貌像
樣品移動范圍	X: 40 mm Y: 35 mm
大樣品尺寸	80 mm(直徑) 50 mm(厚度)
電子槍	預(yù)對中型鎢燈絲
探測器	背散射電子: 高靈敏度4分割背散射電子探測器二次電子: 高靈敏度低真空二次電子探測器	背散射電子: 高靈敏度4分割背散射電子探測器
圖像自動調(diào)整功能	自動啟動、自動聚焦、自動亮度調(diào)整
圖像存儲像素	2,560×1,920 像素、1,280×960 像素、640×480 像素
圖像格式	BMP、TIFF、JPEG
數(shù)據(jù)顯示	標(biāo)尺、微尺值、放大倍率、日期、時間、圖像No.WD、注釋、加速電壓、真空模式、圖像模式、圖像信號
真空系統(tǒng)(真空泵)	渦輪分子泵: 67 L/s 1臺隔膜泵: 20 L/min
操作輔助功能	電子束旋轉(zhuǎn)、預(yù)設(shè)倍率(3級) 電子束偏轉(zhuǎn)(±50 µm @ WD6.0 mm)
安全功能	帶過電流保護(hù)功能、內(nèi)置漏電斷路器
尺寸&重量	主機(jī): 330(長)×614(寬)×547(高) mm、52 kg(motor drive stage) 主機(jī): 330(長)×617(寬)×547(高) mm、52 kg(manual stage) 隔膜泵: 144(長)×270(寬)×216(高) mm